晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-09-16
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晶圓烘箱，晶圓制程烤箱用途:
晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點：
在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制精度。

技術參數(shù)：

無塵等級：Class 100;

溫度范圍：RT+10～200、300℃；
溫度均勻度：±2℃;

溫度波動度：±0.5℃（空載）；
溫控精度：±0.1℃;

進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

排風口： φ3”排風管;

工作室尺寸：W1500×D1000×H1400（mm）；可選擇

電源：380v , 50Hz，15KW；

網板：5層；

潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

控制器：彩色觸摸屏；

顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；

輸出方式：PID控制輸出；

運行方式：程序方式、定值方式；

耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

過濾效率：≥99.99%;

完善的安全保護措施：

漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置（上限220℃）、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。

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