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精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-17訪 問 量：2305
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精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺研制背景：
光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分.均膠和烘干是光刻工藝中*的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或熱板等加熱設(shè)備對光刻膠進(jìn)行干燥.由于熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向快速均勻烘干等要求,目前越來越多地采用電熱板加熱的方式. 熱板的表面溫度均勻性,溫度控制精度,溫度上升速度等是熱板的主要性能指標(biāo).我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.
精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺應(yīng)用行業(yè)：
用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，掩膜版（光罩），柔性電路，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。
精密烤膠機(jī)的性能：
加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸，多工位定制
控溫范圍：室溫--200、300℃
溫度分辨率 ：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻性：≤±0.5℃
電源輸入：AC220V 10A
加熱功率：1500W
熱板表面:由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成
可定制功能：
支撐pin材料
邊緣支撐pin
N2吹掃，無氧化烘烤
烘焙距離可調(diào)模組
真空腔體
智能控制系統(tǒng)
021-31434441
junsish@163.com
86-021-60649603
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