偶聯劑KH-550涂膠機  偶聯 劑氣相沉積系統機理

   將KH-550/570/HMDS等硅烷增粘劑氣相沉積在基底表面，從而增大產品表面接觸角，增強表面兩者之間的界面結合力。其分子結構中的硅氧烷基團能夠與無機材料（如玻璃、金屬、陶瓷）表面的羥基發生反應，形成穩定的化學鍵；而氨基基團則能夠與有機材料（如樹脂、塑料、橡膠）中的基團相互作用，增強兩者之間的界面結合力。

偶聯劑KH-550涂膠機  偶聯 劑氣相沉積系統性能

容積:2-12寸產品cassette及碎片兼容，可定制

操作應用：1-4工位獨立控制

溫度范圍：RT+20-200℃

真空度：≤1torr

自動化：電腦式控制+MES上機位控制

真空泵：無油渦旋真空泵

偶聯劑氣相沉積系統工藝：脫水干燥+氣相蒸鍍+尾氣排放

可擴展功能：plasma等離子清洗一體機

優點：偶聯劑用量節省95%，涂布更加均勻，可批量生產

   適用行業：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、藍寶石、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、砷化鎵、鈮酸鋰、磷化銦、金剛石等第三代半導體材料、生物芯片、微流控器件鍍膜前預處理。

   上海雋思儀器可定制防腐型抗粘劑（脫模劑）蒸鍍機，卷材憎水處理系統，表面超疏水蒸鍍系統，表面修飾沉積系統。